JEOL Ltd. (TOKYO : 6951) (président et directeur de l’exploitation Izumi Oi) a annoncé le développement de versions « semi-in-lens » (i)/(is) optimales pour l’observation des dispositifs semi-conducteurs du microscope électronique à balayage à effet de champ Schottky JSM-IT800 (lancé en mai 2020), dont la vente a commencé en août 2021.
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JSM-IT800 (is) (Photo: Business Wire)
Contexte du développement
Les microscopes électroniques à balayage (MEB) sont utilisés dans divers domaines comme la nanotechnologie, les métaux, les semi-conducteurs, la céramique, la médecine et la biologie. À l’heure où les applications de MEB se développent, non seulement pour couvrir la recherche et le développement, mais aussi pour le contrôle qualité et l’inspection des produits dans les sites de fabrication, les utilisateurs de MEB ont besoin d’une acquisition de données rapide de haute qualité, ainsi que d’une confirmation simple des informations de composition avec un fonctionnement analytique fluide.
En réponse à ces exigences, le JSM-IT800 intègre notre canon à électrons à effet de champ In-lens Schottky Plus pour une imagerie haute résolution, et un système de contrôle optique à électrons innovant « Neo Engine », ainsi qu’un système de « Centre MEB » GUI pour une cartographie élémentaire rapide avec une intégration complète du spectromètre de rayons X à dispersion d’énergie (EDS) JEOL, en tant que plateforme commune. Qui plus est, le JSM-IT800 permet le remplacement de la lentille d’objectif du MEB en tant que module, offrant différentes versions répondant aux exigences diverses des utilisateurs.
Le JSM-IT800 est disponible en cinq versions avec des lentilles d’objectif différentes : une version de lentille hybride (HL), qui est un MEB-FE polyvalent ; une version de lentille super hybride (SHL/SHLs, deux versions avec des fonctions différentes), permettant une observation et une analyse à plus haute résolution ; et la version « semi-in-lens » nouvellement développée (i/is, deux versions avec des fonctions différentes), qui convient à l’observation des dispositifs semi-conducteurs.
Le JSM-IT800 peut également être équipé d’un nouveau détecteur d’électrons rétrodiffusés à scintillateur (Scintillator Backscattered Electron Detector, SBED). Le SBED facilite l’observation d’images en direct avec une haute réactivité et produit un contraste de composition net, même à une faible tension d’accélération.
Caractéristiques
1. Canon à électrons à effet de champ In-lens Schottky Plus
L’intégration améliorée du canon à électrons et de la lentille de condenseur à faible aberration assure une luminosité supérieure. Un courant de capteur ample est disponible à une faible tension d’accélération (100 nA à 5 kV). Le système unique In-lens Schottky Plus permet diverses applications, de l’imagerie à haute résolution à la cartographie élémentaire rapide, en passant par l’analyse de la diffraction d’électrons rétrodiffusés (EBSD).
2. Neo Engine (nouveau moteur optique à électrons)
Le Neo Engine est un système optique à électrons de pointe qui accumule des technologies clés élaborées par JEOL depuis de nombreuses années. Les utilisateurs peuvent effectuer des observations stables, même en modifiant les conditions d’observation et d’analyse. L’opérabilité élevée des fonctions automatiques est fortement renforcée.
3. Centre MEB / Intégration EDS
Un « Centre MEB » GUI s'intègre pleinement à l'imagerie MEB et à l'analyse EDS pour fournir des opérations transparentes et intuitives. Le JSM-IT800 peut être optimisé en intégrant des extensions logicielles en option telles que SMILENAVI pour aider les utilisateurs novices et leur fournir une voie d'apprentissage, et le filtre LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer – AI) pour acquérir des images en direct de qualité supérieure.
4. Versions « semi-in-lens » (i/is)
La version « semi-in-lens » permet d'obtenir une ultra haute résolution en faisant converger les faisceaux d'électrons avec la lentille à fort champ magnétique formée sous la lentille de l'objectif. En outre, le système recueille efficacement les électrons secondaires de faible énergie émis par un échantillon et détecte les électrons avec le détecteur dans la colonne (in-lens detector, UID). Il permet ainsi l'observation et l'analyse à haute résolution d'échantillons inclinés et d'échantillons en coupe transversale nécessaires pour l'analyse des défaillances des dispositifs semi-conducteurs. Il est également très utile pour l'observation des contrastes de tension.
5. Détecteur d'électrons supérieur (DES)
Un détecteur d'électrons supérieur peut être monté au-dessus de la lentille d'objectif. L'avantage de ce système est qu'il permet l'acquisition d'une image d'électrons rétrodiffusés et d'une image d'électrons secondaires en combinaison avec le biais de l'échantillon. Les électrons émis par un échantillon sont sélectionnés par un filtre UID à l'intérieur de la lentille de l'objectif. Le DES et l'UID permettent d'acquérir de nombreuses informations en un seul balayage.
6. Nouveau détecteur d'électrons rétrodiffusés
Le détecteur d'électrons rétrodiffusés à scintillateur (SBED, en option) offre une réactivité élevée, et convient à l'acquisition d'images avec agent de contraste à une faible tension d'accélération.
Objectif de vente
1) JSM-IT800, version i : 5 unités par an
2) JSM-IT800, version is : 40 unités par an
URL du produit : https://www.jeol.co.jp/en/products/detail/JSM-IT800.html
JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japon
Izumi Oi, Président et directeur d’exploitation
(Code boursier : 6951, Première section de la Bourse de Tokyo)
www.jeol.com
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